本标准规定了进行电子探针分析时的人射电子束、波谱仪和试样的实验参数测定的一般原则,并规定了束流、束流密度、死时间.波长分辨率、背底、分析面积、分析深度和分析体积的测定过程。
本标准适用于垂直人射电子束对抛光试样的分析,对于其他实验条件,这些实验参数只能作为参考。
本标准不适用于能谱法。
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GB/T 30705-2014 pdf下载 微束分析 电子探针显微分析波谱法实验参数测定导则
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