GB/T 25915.13-2022 pdf下载 洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度 要求的表面清洁

本文件提供了洁净室表面、设备表面和材料表面达到所需洁净度的清洁指导。本文件中的表面涉及所有表面(外表面、内表面)。
本文件提供评估达到表面洁净度的粒子浓度(SCP)和表面化学洁净度的化学物浓度(SCC)洁净度的所需清洁方法，以及达到规定洁净度宜考虑的清洁技术。
ISO 14644.9和ISO 14644.10给出了清洁技术的适宜率和相关检测方法。
本文件包含以下一般性指南:
——表面目标洁净度等级;
——清洁方法的适用性;
——表面与清洁技术的相容性;
——清洁方法适宜度的评估。