GB/T 37254-2018 pdf下载 高纯碳化硅 微量元素的测定

本标准规定了 采用电感耦合等离子体原子发射光谱（ ICP – OES )法和电感耦合等离子体质谱（ ICP – MS )法测定高纯碳化硅中 微量元素含量的方法。
本标准适用于碳化硅质量分数含量大于或等于 99.9% 的高纯碳化硅材料中 铝、砷 、钙 、铬 、铜 、铁 、汞 、钾 、镁 、锰 、钠 、镍 、铅 、硫 、钛 、锌 等 1 6 种元素的测定。 各元素的测定范围见表 1 ( 以质量分数计）。