AQ 3065-2025 pdf下载 多晶硅安全生产规范
本文件规定了多晶硅安全生产的基本要求、生产安全、储存安全及应急处置的要求。
本文件适用于采用三氯氢硅还原法工艺、硅烷法工艺生产多晶硅企业的安全运行。
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