本标准规定了高纯工业品三氯氧磷的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输和贮存。
本标准适用于高纯工业品三氯氧磷。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件集成电路和超大规模集成电路芯片等的扩散源。
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GB/T 33336-2016 pdf下载 高纯工业品三氯氧磷
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