本标准规定了硅单晶的牌号及分类要求、检验方法检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容等。
本标准适用于直拉法、悬浮区熔法(包括中子嬗变掺杂和气相掺杂)制备的直径不大于200mm的硅单晶。产品主要用于制作半导体元器件。
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GB/T 12962-2015 pdf下载 硅单晶
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